KZ400离子束刻蚀装置

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1、 KZ400离子束刻蚀装置是一种用于工程与技术科学基础学科、测绘科学技术、航空、航天科学技术领域的工艺试验仪器。

2、于2014年3月31日启用。

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关键词： 科学技术 工程与技术 工艺试验